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歐瑞康萊寶的Mag digital系列磁懸浮分子泵的

主要技術(shù)特點(diǎn)：

抽速： 830l/s ～ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長期運(yùn)行溫度可高達(dá)120℃。
轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的KAPLAR涂層
較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體；
降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長轉(zhuǎn)子壽命；
葉片鍍KAPLAR的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
保護(hù)軸承為陶瓷軸承壽命長，無需更換保護(hù)軸承。
高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障安全。
智能化電源，無需UPS。
帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在2mbar以上。
分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
的數(shù)字控制技術(shù)
運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá)180條運(yùn)行信息；
磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
在氣流長時(shí)間（2分鐘以上）過大，而使泵負(fù)載過高，發(fā)熱量過大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無識(shí)別性，可互換。
免維護(hù)。

典型應(yīng)用：
 
所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜