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產(chǎn)品名稱: 愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)

產(chǎn)品時(shí)間: 2019-02-08

產(chǎn)品型號(hào): LR60 LR90 LR180 LR600

產(chǎn)品特點(diǎn): 干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)

愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng) 的詳細(xì)介紹

干泵
LR/HR/UR Series

干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用。關(guān)于CEO-SHOCK的詳細(xì)信息，請(qǐng)從關(guān)聯(lián)情報(bào)中瀏覽。愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)?

特點(diǎn)

LR Series: 低溫領(lǐng)域均熱化
針對(duì)于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時(shí)間
HR Series/UR Series: 高溫領(lǐng)域均熱化
CVD、蝕刻法等發(fā)生時(shí)，升華性排氣物質(zhì)的可以以氣體狀態(tài)排出
1000msec以內(nèi)的瞬停對(duì)策
可以對(duì)應(yīng)CE

用途

活性氣體（CVD、干腐蝕等）
惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
排氣時(shí)間縮短（LR Series)
粉體發(fā)生時(shí)的過程排氣（Si單結(jié)晶提高等）
輔助排氣泵（漩渦分子泵、機(jī)械泵的輔助排氣）愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)?

式樣

型名

LR/HR
60

LR/HR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

UR
421-T

LR/HR
300

LR/HR
600

UR
600

LR/HR
1200

UR
1200

使用泵

DRP

LR/HR
60

LR/HR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

UR
421-T

LR/HR
60

LR/HR
90

UR
90

LR/HR
90

UR
90

MBP

－

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

大排氣速度

m³/h

50Hz

112

183

440

410

359

653

1012

60Hz

126

237

365

701

1051

L/min

50Hz

1030

1860

3100

7333

6833

5980

10900

10883

16900

16867

60Hz

1333

2100

3950

6080

11700

17500

到達(dá)壓力

5.0

0.67

大排氣圧力（吸入圧力）

大氣壓 *

大排氣口圧力（排出圧力）

1Pa～大氣壓

吸氣口（CE式樣）

VG50
(KF40)

VG80(KF50)

VG100

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

VG50

KF40

干泵表面處理

○

機(jī)械增壓泵表面處理

○ *

○

○ *

○

質(zhì)量

180

245

335

415

251

371

403

電力

三相

VAC
(Hz)

200（50/60), 220(60)

180～240/380～440（50/60）

200（50/60), 220(60)

電流值

定常值

6.9/7.1

11.2

18.9

20.8

7.0/7.8

12.3/12.9

16.4

13.7/15.4

18.9

大值

7.0/7.3

11.8

20.6

48.5

52.5

9.6/8.1

19.0/13.8

17.3

24.2/18.9

22.4

冷卻水一次圧力

MPa

0.1 to 0.3

0.2 to 0.5

0.1 to 0.3

冷卻水出入口差圧

MPa

＞0.1

＞0.2

＞0.1

冷卻水流量

L/min

＞5.0

＞4.0

＞5.0

清洗氣體

一次圧力

MPa

0.1 ～ 0.5

二次圧力

MPa

0.05 ～ 0.1

N₂清洗/td>

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0～45

なし*1

0～45

0～195

0～45

*下單時(shí)請(qǐng)使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請(qǐng)不要在200Pa以上的吸入圧下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。泵的溫度異常時(shí)聯(lián)鎖會(huì)運(yùn)作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標(biāo)準(zhǔn)。CE對(duì)應(yīng)場(chǎng)合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮(zhèn)式樣也可以報(bào)價(jià)。

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型名			LR1800	UR1800	LR3601	LR3601-TT	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)	UR3601-TT
使用泵	DRP		LR180	UR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T	UR421-T
	MBP		PRC-018A		PRC-036C	PRC-036C(-T）	PRC-036D	PRC-036D（D-T）	PRC-036C-T
大排氣速度	m³/h	50Hz	1701	1701	3200				2700
		60Hz	1784
	L/min	50Hz	28350	28350	53333				45000
		60Hz	29700
到達(dá)壓力	Pa		0.67
大排氣圧力（吸入圧力）			大気圧 *
大排氣口圧力（排出圧力）			1Pa～大気圧
吸氣口 *			VG150(KF100)	VG150
排氣口			KF40		KF50
干泵表面處理			○	○	○	○	○	○	○
機(jī)械增壓泵表面處理			○ *	○	×	T：×　TT：○	×	TR：×　TTR：○	○
質(zhì)量	kg		553		660	720	660	720	720
電力	三相	VAC(Hz)	200（50/60),220(60)		180～240/380～440（50/60）
電流值	定常值	A	21.4	29.2	31		35.4		39.8
	大値	A	39.8	34.9	58.4		82		68.3
冷卻水一次圧力	MPa		0.1 to 0.3		0.2 to 0.5
冷卻水出入口差圧	MPa		＞0.1		＞0.2
冷卻水流量	L/min		＞5.0		＞4.0				＞5.0
清洗氣體	一次圧力	MPa	0.1 ～ 0.5
	二次圧力	MPa	0.05 ～ 0.1
N₂清洗	軸	SLM	5
	氣鎮(zhèn)	SLM	0～45	0～195	なし*1	0～45	なし*1	0～45	0～195

■消音器（選項(xiàng)）

型號(hào)	材質(zhì)	表面處理	質(zhì)量（kg）	連接法蘭盤
RS-01	SUS304	GBB處理	4.1	NW40
RS-02	SUS304	GBB處理	8.3	NW40
RS-03	SUS304	磨板	12.5	NW50

■型號(hào)適合表

kit名	適合型號(hào)	夾鉗	外側(cè)環(huán)	連接配管	撐條
RS-01kitA	LR60,LR90,LR300	1	1	-	-
RS-01kitB	LR600,LR1200	2	2	1	1
RS-02kitA	LR180（LR60,LR90,LR300）	2	2	1	1
RS-02kitB	LR1800（LR600,LR1200）	2	2	1	1
RS-03kitA	LR421(-T)	1	1	1	1
RS-03kitB	LR3601(-T/TT/R/TR/TTR）	3	3	1	1

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產(chǎn)品分類

愛發(fā)科

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