高真空環(huán)境下測定，對真空計的精度(感度平衡，誤差等)和較短的壽命(測定子污垢，放電難等)有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開發(fā)了在嚴(yán)酷環(huán)境下長久，高精度測定的電離真空計。世界上三極管型金屬電離真空計，對運轉(zhuǎn)費大幅削減，過程布留率提高都有效果。
復(fù)合真空計G-TRAN系列特點
世界上三極管型金屬電離真空計
可以實現(xiàn)在惡劣環(huán)境下將 三極管的優(yōu)點大化，并實現(xiàn)長壽命的真空計測定精度的提高
實現(xiàn)測定精度±10％，感度穩(wěn)定性提升測定子的小型化?金屬制
不必?fù)?dān)心玻璃破損廣域測定
可以測定從大氣壓到高真空的領(lǐng)域（10+5Pa～10-5Pa）（SPU?SAU在同時使用的情況下）可以連接不同范圍的測定子
可以根據(jù)多離子規(guī)的用途來選擇測定子準(zhǔn)確的大氣壓測定
可以容易且準(zhǔn)確的確認(rèn)大氣壓（在使用SAU的情況下）低環(huán)境負(fù)荷對應(yīng)
在運行成本的減少下，可以替換必要的測定子燈絲使用壽命的通知功能
通過電源監(jiān)控，可以提前通知的燈絲壽命辨認(rèn)性的提升
搭載一眼可以確認(rèn)清楚真空計狀態(tài)的LED保養(yǎng)
容易更換測定子合適規(guī)格
CE標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)
用途
有機EL、觸摸屏等的制造裝置到達(dá)壓力確認(rèn)以及過程管理用真空爐等各種產(chǎn)業(yè)用真空裝置的到達(dá)壓力確認(rèn)
碳化氫（油基）多的環(huán)境下測定
真空部品加工時的切削油及洗凈液殘留的環(huán)境下測定
為了降低真空計測定子的更換頻度真空裝置中用
※腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境下使用的場合請商談。
復(fù)合真空計G-TRAN系列規(guī)格
| 型號 | ST2-1 | ST2-2 | |
| 機種名 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 通訊型 | |
| 可以連接的傳感器 | 多離子規(guī)傳感器 ： 1套 皮拉尼真空計SPU ： 1套（可選） 壓力傳感器單元SAU ： 1套（可選） | ||
| 測定壓力范圍 | 1×10-5 ～ 1×10+1Pa | ||
| 測定精度 | 1×10-4 ～ 3Pa : ±10% | ||
| 反復(fù)精度 | 1×10-4 ～ 3Pa : ±2％ | ||
| 取樣時間 | 50ms 5回的移動平均處理 | ||
| 測定值輸出 | 輸出電壓 DC 0 ～ 10V LOG輸出 0.75V/1數(shù)字 壓力換算公式 V＝7.25+0.75＊（LogP-2） P＝10^｛（V-7.25）/0.75+2｝ ＊兼有設(shè)定值調(diào)整用的輸出電壓(僅限ST2) | ||
| 更新時間 | 50msec | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 開路集電極輸入，負(fù)邏輯 | – | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設(shè)定值1/2/3、排放驅(qū)動器、 燈絲電力監(jiān)視 額定：24VMAX、50mAMAX、飽和電壓1V | – | |
| 串行通信規(guī)格 | – | RS232C/RS-485 | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、錯誤LED FIL： B-A規(guī) 燈絲等狀態(tài)顯示 | ||
| SET1： 設(shè)定值1LED SET2： 設(shè)定值2LED SET3： 設(shè)定值3LED | – | ||
| 排放電流 | 2mA(1×10-3Pa以下)、10μA | ||
| DEGAS | 電子轟擊方式、排放電流2mA、并網(wǎng)電壓約330V | ||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa（壓力） * 法蘭或夾子等的耐壓力需要另外考慮 | ||
| 傳感器內(nèi)容積 | SWT-16 ： 17cm3 | ||
| 使用溫度范圍 | 10?50oC | ||
| 使用濕度范圍 | 15?80%(無結(jié)露) | ||
| 保管溫度 | -20?65oC(當(dāng)斷電時，無結(jié)露) | ||
| IP保護(hù)等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC20?28V (紋波、噪聲低于1%) | ||
| 定常時約 | 8W、DEGAS時19W以下、接通電源時6A以下（4ms） | ||
| 輸入輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺） | ||
| 本體質(zhì)量控制器 | 約530g 測定子（SWT-16）： 80g | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 約183.8×約75×約62.2mm | ||
| 適合規(guī)格 | CE | ||
| 選 項 | 多離子規(guī)傳感器 | SWT-16（NW16） 材質(zhì)：燈絲 ： Ir/Y2O3コート PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni電鍍 | |
| 皮拉尼真空計 | SPU | ||
| 皮拉尼規(guī)傳感器 | WP-16（NW16） 材質(zhì) ： 燈絲Pt、其他Bs/Ni電鍍、Ni、焊接 壓力傳感器（NW16） 材質(zhì)SUS316L | ||
| 單元電纜 | ST2 ～ SPU、ST2 ～ SAU顯示單元間的線纜 0.5m | ||
| 連接器 | 1CH： ISG1（DC24V電源使用） 4CH： IM1R1（DC24V電源使用）/IM2R1（AC100V電源使用） | ||
| 顯示單元電纜 | ST2 顯示單元件的電纜 2m、5m、10m、15m、20m | ||
| 連接器 | 輸入輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺） | ||
| 其他 | 檢查報告、一般校準(zhǔn)測試報告、JCSS校準(zhǔn)證書 | ||
■ 各模式規(guī)格：SH2-1/SH2-2可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規(guī)單體模式，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法
| 模式 | SH2-1/SH2-2 單體模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式 |
| 測定壓力范圍 | 5×10-8?1×10+1Pa | 5×10-8?1×10+4Pa | 5×10-8?1×10+5Pa |
| 測定精度 | 5×10-8?1×10+1Pa： ±15% | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準(zhǔn)溫度25oC) |
| 反復(fù)精度 | 1×10-6?1×10-1Pa： ±2% | ||
| 連接圖 (例) |  |  |  |
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